第一三八四章 光刻机的现状（上） (第1/2页)
EUV LLC联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，Intel和GCA各出20%，Motorola、IBM、IT、ADM和HP各出4%，Micron和Cymer等其他33家科技企业和研究机�
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